| 一种在线检测激光清洗材料表面粗糙度的仪器及使用方法 |
| CN202111222929.5 2021-10-20 发明申请 |
| 2023-4-21 |
| 本发明公开一种在线检测激光清洗材料表面粗糙度的仪器及使用方法,属于激光清洗表面质量评估、光谱分析和检测技术领域,本发明的仪器包括光源及光路系统、样品及控制系统、激光清洗系统、光谱探测与分析系统;光源及光路系统包括光纤连接的光源及光路调整系统、光源耦合头和光纤探头;样品控制系统用于夹持和移动待检测样品;激光清洗系统包括激光器、激光清洗头、机械臂、激光器与机械臂控制器;光谱探测与分析系统包括光纤探头、光纤探头固定支架、光检测器和计算机及软件系统,本发明的仪器在激光清洗的同时样品表面的散射和反射光谱被检测和分析,从而得到表面的粗糙度,首次实现了散射光谱法激光清洗表面粗糙度的在线检测。 |