| 真空紫外光谱辐射计 |
| CN202310070862.0 2023-2-7 发明申请 |
| 2023-4-18 |
| 本申请提供一种真空紫外光谱辐射计，包括：真空舱，用于提供真空环境；离轴光学聚焦系统，设置在所述真空舱内；其中，所述离轴光学聚焦系统包括：限束光阑，用于限制光束，光源发射的发散光束中的至少部分通过限束光阑的通光孔进入离轴光学聚焦系统；聚光单元，设置在入射光束的光路上，用于接收入射光束，并使入射光束变为会聚光束；分光单元，设置在聚光单元和探测单元之间的光路中，用于使会聚光束在入射至探测单元之前部分地通过；探测单元，用于接收并检测通过所述分光单元的光束。 |
微信公众号