一种双角度并联干涉系统
 
CN202211649059.4  2022-12-20  发明申请

2023-4-14
 
  本发明涉及干涉光谱成像技术领域,公开了一种双角度并联干涉系统,包括光源单元、第一干涉单元、分光单元、第二干涉单元以及图像获取单元,第一干涉单元以及第二干涉单元分别位于待测样品的两个不同方位,光源单元向分光单元投射光束,光束经分光单元反射及透射后分别形成第一光束以及第二光束,第一光束在第一干涉单元中干涉,并向图像获取单元投射关于待测样品的第一视角的干涉成像;第二光束在第二干涉单元中干涉,并向图像获取单元投射关于待测样品的第二视角的干涉成像;实现了在不改变物体位置的情况下对样品的两个角度同时进行干涉成像,覆盖了样品两倍的角度范围,拓展了干涉仪的应用范围。
 
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