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具有气体团簇铣削的系列厚组织切片的体扫描电子显微镜

US16269256 2019-2-6 发明申请

2019-11-21

一种显微镜系统，包括 : 气体簇束系统，其被配置为产生指向样品的气体簇束，以照射样品并从样品磨除连续的表面层；扫描电子显微镜系统，其被配置为用电子束照射样品的连续表面层，并响应于表面层的照射而使样品的连续表面层成像；以及处理器，被配置为基于所述样品的所述连续层的成像来生成所述样品的三维图像。