| 用于增强光谱资料收集的终点侦测系统 |
| TW111121608 2022-6-10 发明申请 |
| 2023-4-1 |
| 提供了一种用于增强光谱资料收集的终点侦测系统。光学束与配置为产生入射光的光源耦接。该光学束包括两个或更多个光纤集合每个光纤集合包括发射光纤和接收光纤。该等接收光纤相对于相应的发射光纤以配对角度设置在该光学束内。该光学束也与包括消色差透镜的准直器组件耦接。该消色差透镜接收来自第一发射光纤的入射光的第一光束并且向基板的表面的第一部分和第二部分引导该第一光束的光谱成分。该基板表面的该第一部分与该第二部分实质相同。该消色差透镜收集由引导到该基板表面的该第一部分和该第二部分的该等光谱成分所产生的反射光谱成分。该消色差透镜向该光纤束的第一接收光纤传输该反射光谱成分该第一接收光纤向光侦测部件传输该等反射光谱成分。与该光侦测部件耦接的处理设备基于该等反射光谱成分来决定该基板表面的反射率。; . |
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