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光谱仪

JP2021532638 2019-7-18 发明授权

2022-10-19

色散元件设置有用于光谱地色散X射线的色散晶体、支撑色散晶体的第一支撑层和支撑第一支撑层的第二支撑层。第一支撑层的热膨胀系数大于色散性晶体的热膨胀系数。所述第二支撑层的热膨胀系数小于所述第一支撑层，并且所述第二支撑层的刚性大于所述第一支撑层。