| 宽带激光泵浦等离子体光源 |
| WORU22050311 2022-10-5 发明申请 |
| 2023-4-13 |
| 光源，其通过CW激光的聚焦光束保持在所述充气室中，并辐射等离子体。 所述气体为纯度至少为99.99%的惰性气体。 该室包含金属外壳，该金属外壳具有至少一个由MgF2制成的窗口，用于输出等离子体辐射。 每个窗口位于一个套筒的端部上的壳体的一个孔中，并且通过玻璃胶焊接到该套筒上，并且每个套筒在外侧焊缝上焊接到金属壳体的孔上。 套管和外壳由具有线性热膨胀系数(CLTE)的合金制成，其在垂直于MgF2晶体的光轴的方向上与MgF2晶体的CLTE相匹配。 技术结果在于将光源的辐射光谱扩展到VUV区域中。 |
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