| 一种双角度激光干涉系统 |
| CN202211642589.6 2022-12-20 发明申请 |
| 2023-4-11 |
| 本发明涉及干涉光谱成像技术领域，公开了一种双角度激光干涉系统，包括光源单元、干涉单元、分光单元以及图像获取单元，光源单元用于向分光单元发射平行光束，分光单元用于分射光束，干涉单元包括第一样品臂、第二样品臂以及参考臂，激光光源发射的光束经分光单元反射及透射后分别形成第一光束以及第二光束，第一光束和第二光束分别获取第一物光、第二物光和参考光，图像获取单元能够根据参考光、第一物光以及第二物光获取待测样品的两个视角的干涉成像；从而实现了在不改变物体位置的情况下对样品的两个角度同时进行干涉成像，且在不影响测量效率的前提下，覆盖了样品两倍的角度范围，能够拓展了干涉仪的应用范围。 |
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