| 使用萨尔瓦棱镜为剪切元件的剪切干涉显微镜 |
| TW107112041 2018-4-9 发明申请 |
| 2019-11-16 |
| 本发明提供一种使用萨尔瓦棱镜为剪切元件的剪切干涉显微镜,至少包含光源、极化器、聚光镜、物镜、分光镜、萨尔瓦棱镜、分析板及感光元件;其中极化器将来自光源的光线,转换为极化光;聚光镜和物镜依序收集传递过来的光线去照射受测物;萨尔瓦棱镜设於物镜和受测物间,将来自物镜的光束横向剪移为偏振态互相垂直的寻异光及异寻光,再将由受测物反射回来的寻异光及异寻光,合并为一束;最後物镜将合并光束所携带的影像,经分光镜及分析板後,成像在感光元件上 |