| 一种具有高衍射效率的浸没式闪耀光栅 |
| CN202222141634.1 2022-8-15 实用新型 |
| 2023-4-7 |
| 本实用新型涉及一种具有高衍射效率的浸没式闪耀光栅。在石英基底上覆盖铝膜反射层，反射层上覆盖致密平整的二氧化硅薄膜透射层；闪耀光栅的入射角为，光栅顶角为90°，闪耀角为，光栅常数d为7μm。闪耀光栅采用浸没式结构，入射光经透射层朝向反射层入射，并在透射层和反射层交界面处发生衍射效应，产生的衍射光经金属反射层反射并从透射层的内部出射。本实用新型提供的闪耀光栅在400～800nm的工作波段内，正一级的衍射效率大于55%，能有效提高成像光谱仪的能量利用率，减少其他衍射级次能量对正一级色散光谱的影响，确保成像光谱仪在可见光及近红外范围内的高性能成像。 |
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