| 带电粒子谱仪 |
| WOSE22050793 2022-9-7 发明申请 |
| 2023-3-30 |
| 描述了一种带电粒子谱仪(100)，其包括成像能量分析器(101)和静电透镜系统(102)，所述静电透镜系统具有第一偏转器(16A/16C，16B/16D)和可选的第二偏转器(17A/17C，17B/17D)，所述第二偏转器可操作以在进入成像能量分析器(101)之前第一次并且如果适用的话也第二次引起带电粒子在坐标方向(x，y)上的偏转。 光谱仪还包括控制单元(20)，其被配置为控制静电透镜系统(102)的标称空间位置，并使用透镜台控制光谱仪(100)在角度模式下的扫描。 还描述了用于控制控制(20)单元的计算机程序。 |
微信公众号