| 一种晶圆厚度自动量测仪 |
| CN202223329038.2 2022-12-9 实用新型 |
| 2023-3-28 |
| 本实用新型涉及晶圆量测技术领域，尤其是涉及一种晶圆厚度自动量测仪，包括柜体和支撑架，柜体内设置有量测平台和移动机构，柜体设置有开口，开口处对接有进出料装置；量测平台上设置有量测装置和量测系统主机，量测装置设置有量测基座、伺服驱动装置和量测探头部件，量测探头部件设置有彩色光源组件、光谱探测组件和光谱解码组件。通过在一个柜体内设置量测装置和移动装置，从而使进出料装置里的晶圆在密封干净的环境中进行量测，减少在量测和移动过程中对晶圆表面造成的不良影响。结合彩色光源组件、光谱探测组件和光谱解码组件构成量测系统，提供高精度、非接触和大范围的量测性能，提高量测的效率和准确度。 |
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