| 一种基于MEMS多光纤开关的付立叶变换光谱仪 |
| CN201711240208.0 2017-11-30 发明申请 |
| 2019-6-7 |
| 本发明公开一种基于MEMS多光纤开关的付立叶变换光谱仪，其包括接收入射光的消偏振分光棱镜，消偏振分光棱镜的P偏振光出射方向设第一全反射片，S偏振光出射方向设有光程调节组件，对应S偏振光出射方向的另一面依次设有阵列成像透镜和CCD；光程调节组件包括依次设置的第一光开关、第二光开关和第二全反射片，第一光开关和第二光开关通过多条不同长度的光纤互连，且多条不同长度的光纤并行设置，第一光开关和第二光开关在多条不同长度的光纤之间切换，第二光开关的输出端连接第二全反射片。本发明采用两组1XM的光纤光开关同时切换到下一光纤，与不同长度光纤结合，以增加常规小范围移动或无移动式付光谱仪等效扫描长度构成新结构的富立叶光谱仪。 |
微信公众号