| 分光光学系统，分光测量系统以及半导体检查方法 |
| JP2018210285 2018-11-8 发明申请 |
| 2020-5-21 |
| [问题]为了兼容具有高空间分辨率和波长分辨率的宽视场，降低光谱光学系统的成本。 [解决方案]具有通孔和狭缝101的预定形状， 透过狭缝1的第2入射光的101, 102为球面镜， 第一反射镜10212103和第二光的球面镜从球面入射， 从衍射光栅2反射的第1入射光的球面镜104, 103， 由衍射光栅104和传感器106色散的波长检测光， 包括： 球面镜1的第一曲率中心和第一球面2102103的曲率中心平行于光轴设置， 至少在从第一球面反射并平行于光阑的位置的光束中是衍射光栅，来自光阑的球面镜的反射光被布置。 图2[图] |
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