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一种暗场散射显微成像和光谱测试系统
CN202110604407.5 2021-5-31 发明申请
2021-9-7
本发明公开了一种暗场显微成像和光谱测试系统。它由光源、新型散射光路、光谱仪、CCD组成。本发明主要基于暗场散射,通过将传统暗场散射光路中的透镜元件更换为曲面反射镜,简化了光路,增加了散射光吸收效率。其优点在于:光路简单、成本低廉、散射光收集效率高、不仅能工作于可见光波段还能工作于红外、紫外、太赫兹波段。本发明在颗粒散射成像与光谱分析、表面成分检测等领域有广泛应用前景。
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