| 一种自由曲面测量系统 |
| CN202111336186.4 2021-11-12 发明申请 |
| 2022-2-22 |
| 本发明适用于自由曲面测量领域，公开了自由曲面测量系统，包括探测单元、移动单元、数据处理单元和计算机单元，移动单元和数据处理单元均与和计算机单元连接，计算机单元根据被测自由曲面被测自由曲面的多个环形子孔径的位置关系控制移动单元的运动，探测单元在移动单元的驱动下检测各个环形子孔径反射的激光光束的波前斜率，探测单元包括光源、光纤阵列、光谱仪阵列和透镜阵列，数据处理单元与光谱仪阵列连接，用于根据各个环形子孔径对应的波前斜率获得被测自由曲面的面形；该自由曲面测量系统的探测单元基于共聚焦原理，利用透镜阵列产生长的色散区域，并在焦面上采用集成光波导，扩大接收视场，可实现非接触、大量程、大倾角范围面形测量。 |
微信公众号