| 监测射频辉光放电光谱仪放电室内等离子体稳定性的装置 |
| CN202211688509.0 2022-12-28 发明申请 |
| 2023-2-3 |
| 本发明涉及监测射频辉光放电光谱仪放电室内等离子体稳定性的装置，包括射频电源，所述射频电源的负极通过阻抗匹配器连接至阴极盘，所述阴极盘的采集端与差分电压采集电路单元的输入端相连，所述差分电压采集电路单元的输出端与波形处理单元的电压采集端相连，所述射频电源的正极与阳极筒相连，所述阳极筒的采集端通过高频电流传感器与波形处理单元的电流采集端相连，所述波形处理单元输出端与上位机的输入端相连。本发明能够快速获知等离子体的稳定信息，极大方便了辉光放电条件的初筛。 |
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