| 光学测厚仪 |
| DE102021124048 2021-9-16 发明申请 |
| 2023-3-16 |
| 本发明涉及一种光学厚度测量装置，该光学厚度测量装置具有光源、测量头、具有用于对输入光进行光谱分离的光学部件和检测器的光谱仪以及评估装置，其中，光源与测量头光学连接并且构造成产生至少低相干的测量光并且将该测量光传导到测量头， 所述测量头与所述分光计光学连接并且被构造成用于将所述测量光引导到测量对象上并且收集源自两个不同表面的反射光并且将所述反射光作为输入光引导到所述分光计，所述分光计与所述评估装置电连接并且被构造成用于对此确定源自所述测量对象的两个不同表面并且彼此干涉的反射光的光谱并且将所述光谱作为电信号发送到所述评估装置， 评估装置构造成，确定两个表面之间的距离——即测量对象的厚度。 根据本发明规定，所述测量光具有第一和第二波长范围，并且所述光谱仪具有用于反射光的两个光输入端，所述光输入端在空间上彼此间隔开，使得在所述光谱仪中由于所述光输入端彼此的距离而导致的反射光的两个波长范围在光谱上被共同的光学部件分离并且映射到所述检测器。 |
微信公众号