| 大尺度金属构件偏析度分析仪及分析方法 |
| CN201911374898.8 2019-12-27 发明申请 |
| 2020-5-15 |
| 本发明属于偏析分析技术领域,特别涉及一种大尺度金属构件偏析度分析仪及分析方法。分析仪包括高精密三维数控工作台、样品表面加工模块、偏析度分析模块和结果表征模块;高精密三维数控工作台包括在水平X轴和Y轴方向精密移动用于固定待测样品的水平样品台,以及相互平行且垂直于X轴Y轴平面的Z轴和W轴;样品表面加工模块和偏析度分析模块能够上下移动地分别安装在高精密三维数控工作台的Z轴和W轴上,位于水平样品台上的待测样品的上方;样品表面加工模块包括用于在待测样品表面进行表面加工的刀具;偏析度分析模块包括激发光源和用于对待测样品表面进行分析的光谱仪;刀具的中心与所述光谱仪的火花台之间的间距一定距离。 |