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光谱自校准光栅以及光谱仪
CN201910116393.5 2019-2-15 发明申请
2020-8-25
本发明公开一种光谱自校准光栅以及光谱仪,其中该光谱自校准光栅包括微型光栅以及校正记号。微型光栅以及校正记号被光束照射后分别在成像面上形成绕射图案以及校正图案。依据绕射图案以及校正图案之间的距离,校正绕射图案的光谱。
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