| 用于光学发射光谱法的光收集装置 |
| EP18205637 2018-11-12 发明申请 |
| 2020-5-13 |
| 根据本发明的示例性实施例,提供了一种用于使用光学发射光谱法分析样品(220)的元素组成的分析器装置的检测器组件(20)。 检测器组件(200)包括 : 激励器(102),用于产生聚焦在目标位置处的激励,以激发来自目标位置处的样品(220)的表面的光发射; 以及用于将光发射传送到光谱仪(106)的光收集装置(104)。 光收集装置(104)包括凹球面镜(216),布置在凹球面镜(216)的主轴线中的像点中的光接收器(106, 218)和包括至少一个孔径的折叠镜(214)。 激励器(102)相对于光收集装置(104)布置成使得激励通过所述至少一个孔朝目标位置传递, 折叠镜(214)设置在凹球面镜(216)和光接收器(106)之间, 2018),使得折叠镜(214)将凹球面镜(216)的主轴朝向目标位置折叠,并且使得所述至少一个孔径与凹球面镜(216)的主轴对准,以允许传送从凹球面镜反射的光发射 球面镜(216)穿过其中朝向光接收器(106, 218)。 |