| 阴极发光光谱仪器 |
| JP2021136446 2021-8-24 发明申请 |
| 2023-3-8 |
| 要解决的问题：在阴极发光分光装置中，使分割阴极发光的分光器小型化。 解决方案：本发明公开的阴极发光光谱仪器100包括电子枪10、反射镜20、标准具元件30、检测器40和控制装置50。 标准具元件30包括第一反射镜和第二反射镜。 所述第二反射镜设置在与所述第一反射镜相对的位置。 第一反射镜反射由反射镜20聚集的阴极发光CL2的一部分，并透射其一部分。 第二反射镜反射透射第一反射镜的阴极发光的一部分，并透射其一部分。 第一反射镜和第二反射镜在第一反射镜和第二反射镜之间引起阴极发光的干涉，并且透射来自第二反射镜的特定波长的阴极发光CL3。 检测器40检测透射第二反射镜的阴极发光CL3的强度。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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