| 用于检测气体的光谱仪及其应用 |
| BRPI112018077318 2017-6-22 发明申请 |
| 2019-4-2 |
| 本发明涉及一种法布里-珀罗干涉仪和包括该干涉仪的系统，该法布里-珀罗干涉仪包括安装在框架中的两个平面镜表面。 反射镜之间具有已知的距离，并且至少一个反射镜表面既是部分反射的又是部分反射的，其中存在至少两个致动器单元，每个致动器单元包括至少一个致动器。 第一致动器单元适于调节所述反射镜之间的所述距离，第二致动器单元适于以选定的频率调制所述距离， 因此，两者都在对应于所述法布里-珀罗干涉仪中的滤波波长范围的反射镜距离范围上提供变化。 所述反射镜中的至少一个通过硅膜与框架相关，所述致动器单元中的至少一个包括在所述膜上的压电材料，从而构成双晶或单晶致动器单元。 |
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