| 电子显微镜中的鳗鱼检测技术 |
| KR1020190050223 2019-4-30 发明申请 |
| 2019-11-12 |
| 一种在电子显微镜(EELS)中进行电子能量损失谱分析的方法。 方法； 在单个试件保持器中提供具有试件的试件保持器的方法，从源产生电子束； 两个光源A-使用照明器引导光束以照亮测试件的步骤，至少一个光源。 使用成像系统接收透过样品的-通量，并接收该通量。 分散装置，用于在分散方向上分散焊剂以形成焊剂； 一种引导细分为A的检测表面的三光谱A方法； 在分光镜上的多个检测区域； 一种包括检测表面的装置，该检测表面包括检测表面。 本发明涉及如权利要求所述的式(I)化合物， 在权利要求中，1登记A的操作， 至少根据本发明的一个实施例，使用至少一个检出检测区域，第一检测区域，第一检测区域和EEL第一检测区域的多个2光谱3实体。 一种方法，3包括 : 在所述多个一个光谱中的一个光谱的配准1期间，读出所述第一和第二检测区域的鳗鱼。 实体(S)； 和iii)分别从第一和第二检测区域中的第一和第二检测区域读出第一和第二检测区域。 |
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