| 扫描电镜和扫描电镜样品观察方法 |
| JP2018562747 2017-1-17 发明申请 |
| 2019-11-7 |
| 产生深沟槽，用扫描电镜精确检测带电·，·，测量孔的槽底深度。 为此， 一次电子和电子源201， 将样品放置在样品台213上， 具有扫描偏转器207的样品上的主电子束， 物镜，用于会聚初级样品203； 在具有检测器206的扫描电子显微镜中，由样品的照射产生的一次电子到二次电子， 在物镜被控制为施加负电位的第1取样期间，用施加于第1取样期间的一次电子电位照射样品， 用主电子照射样品不是2秒的周期，施加到正极性电位的电位被施加到物镜，以便对照样品。 |
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