| 晶圆绝缘膜检查设备 |
| KR1020200169331 2020-12-7 发明申请 |
| 2022-6-14 |
| 本发明涉及晶片绝缘膜检查设备，更具体地，涉及能够同时检查用作晶片上的层间绝缘膜的硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)膜的杂质浓度的晶片绝缘膜检查设备。 根据本发明的晶片绝缘膜检查设备包括：控制单元，用于将由绝缘膜形成的晶片移动到上部； 以及测量单元，用于测量由控制单元传送的晶片的绝缘膜的杂质浓度和厚度， 其中，该控制单元包括：供应单元，用于供应晶片；以及安置单元，用于安置由供应单元的一侧供应的晶片， 其中测量单元包括用于测量绝缘膜厚度的椭圆光谱仪和用于测量杂质浓度的傅立叶变换(FTIR)光谱仪。 |
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