| 一种基于DMD和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法 |
| CN202110804101.4 2021-7-16 发明申请 |
| 2021-11-9 |
| 本发明属于光谱分析技术领域，具体涉及一种基于DMD和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法；其中待测光谱线通过细长型狭缝进入准直镜，经准直镜准直后变为复色平行光谱线入射进入棱镜，经棱镜分光后的光谱线经由聚焦透镜入射进入数字微镜，其中数字微镜将所需的特定波段范围内的待测光谱线反射至准直透镜后进入中阶梯光栅，经中阶梯光栅分光后的光谱线入射进入聚焦镜，经聚焦镜聚焦反射后入射进入CCD探测器，由CCD探测器接收并检测；可连续多次对不同特定波段的待测谱线进行实时检测，有效避免了级次重叠，提高检测准确性；此外，由于中阶梯光栅和棱镜同向色散，采用细长型狭缝作为入射狭缝，提高了系统的光通量以及对微弱光信号的检测能力。 |
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