| 一种新型片上级联光谱仪结构 |
| CN202211329037.X 2022-10-27 发明申请 |
| 2023-2-3 |
| 本发明公开了一种新型片上级联光谱仪结构,包括输入、离散光谱仪、连续光谱仪和光电探测器。所述离散光谱仪和所述连续光谱仪都包括功分器、上下臂、合束器。所述离散光谱仪的上下臂各包括两个路径选择开关、合束器和传输通道。所述连续光谱仪的上臂包含一个加热器。所述离散光谱仪与所述连续光谱仪通过串联方式连接。该新型片上级联光谱仪结构采用离散光程差串联连续光程差的方法实现超窄间隔光程差可调,从而有效增大光谱仪的测量范围,提高了光谱仪的分辨率,提高光谱测量效率;其输出端仅需要一个光电探测器即可完成干涉图样的测量,能够有效减少片上光谱仪的尺寸和复杂度,具有广阔的应用前景。 |