| 滤光器，滤光器系统，分光计及其制造方法 |
| US16551935 2019-8-27 发明申请 |
| 2020-2-27 |
| 提供了一种纳米结构的光波长传输滤波器。 所述滤光器包括图案化衬底，在所述图案化衬底上布置有高折射率介质波导。 在所述高折射率介质波导上设置有低折射率介质层，在所述高折射率介质波导上设置有金属纳米结构阵列。 所述滤光器的层具有由所述衬底的图案化表面限定的保形形状。 一种滤光器系统，包括光学透射滤光器和固定到基板上的检测器阵列。 光谱仪包括至少一个光透射滤光器和/或至少一个所述光透射滤光器系统，并且对于波长在300nm和790nm之间的入射光具有低于30nm的光谱分辨率。 还描述了一种制造滤光器的方法，滤光器系统和光谱仪。 |
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