| 靶材、高亮度EUV源及13.5nm辐射产生方法 |
| RU2022100914 2022-1-17 发明授权 |
| 2023-2-1 |
| 领域：含Li靶材。 发明内容：本发明涉及一种含Li靶材料，其被设计成在高亮度光源中产生发射等离子体，并在13.5nm波长处产生极紫外(EUV)区域中的辐射。 使用具有附加元素的共晶Li合金作为靶材料，这允许靶材料密度以90%至60%的原子分数增加Li的许多倍。 所述附加元素选自包括Au、Ag、Bi、Ba、Sr的组。所述靶材料用于具有快速旋转靶(至少100m/s)的基于激光等离子体的EUV源中，其中污染物液滴部分不被引导到激光和EUV束路径的空间区域中。 效果：由于污染颗粒的液滴部分的速度急剧降低，并且由于高目标速度，能够控制其离开含Li等离子体的方向，因此将具有高光谱亮度的紧凑清洁辐射源的应用范围扩大13.5nm。 16 cl, 7 dwg |
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