| 光谱仪用等离子体源 |
| DE202020107493 2020-12-22 实用新型 |
| 2021-3-25 |
| 一种用于光谱仪的等离子体源(1)， 包括：具有等离子炬(2)，该等离子炬(2)具有至少一个管(10)，该管(10)具有引导区域(11)，第一气流被送入该引导区域中， 和- 电离区域(12)，其中感应能量通过围绕管(40)布置的线圈(10)被供应到第一气流(15)中，其中能量至少部分地电离第一气流(15)，并且等离子体(50)被点燃， 出口区域(13)，第一气流(15)与等离子体(50)一起从该出口区域流出。 其特征在于，等离子体源(1)具有用于冷却气流(61)的冷却气体引导件(60)， 其中，在冷却气体入口(62)和冷却气体出口(63)之间的管(10)外侧的冷却气体引导件(60)具有冷却部(14)， 其中冷却气体在管(15)外横向于第一气流(10)的方向流动。 |
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