| 一种扫描探针显微镜样品平面方向热漂移补偿装置 |
| CN201920150204.1 2019-1-29 实用新型 |
| 2019-11-1 |
| 本实用新型公开了一种扫描探针显微镜样品平面方向热漂移补偿装置，包括样品托底座和样品托，样品托上设有突出，样品托底座上设有凹槽，突出与凹槽相匹配，形成滑动轨道，通过对称性设计，SPM的针尖在中间的样品附近，样品托和样品的热膨胀或收缩会以对称中心向外膨胀或向内收缩，从而使得样品中间位置相对针尖的位置保持不变。大幅减少因为样品温度升高和温度的波动而引起的样品横向热漂移。 |
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