| 用于用波长色散X射线光谱仪组件进行空间分辨率测量 |
| DE102017223228 2017-12-19 发明授权 |
| 2018-12-27 |
| 一种具有样品(2)的X射线光谱仪， 来自X射线源(20)的在其表面(1)上的X射线辐射入射， 具有罩组件(4)和检测器装置(7a)，罩组件(4')的相互平行的叶片(15)通过所述罩组件(4')，在所述罩组件(4)中，样品的X射线(3)可以通过，所述罩组件(4')用于X射线(4')的相互平行的叶片(15)已经通过所述罩组件(4')，在所述分析器装置(6')中，根据来自反射的布拉格条件的X射线准直器组件(5')和用于检测X射线辐射(6')的检测器装置(7a)，其特征在于罩组件包括狭缝形孔； 所述准直器装置包括改进的BE，其中所述板条形成多个槽形通道，其中存在由垂直于所述槽对准隔板(25)的薄片形成的槽的一部分，所述X射线是不可透过的，并且由所述准直器装置穿过的射线在横向于所述样品的X射线衍射平面的方向上的横向发散受到限制； 和至少一个位置灵敏检测器包括在一个维度中。 空间分辨率的测量可以进行得更快，所以清楚。 |
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