| 一种基于EDXs的多相TaxC1-x全定量分析方法 |
| CN202211371014.5 2022-11-3 发明申请 |
| 2023-1-24 |
| 本发明提供了一种基于EDXs的多相TaxC1?x全定量分析方法，属于金属化合物全定量分析技术领域，包括：准备TaC化合物样品；采集TaC化合物样品的实际测量光谱；对实际测量光谱进行分析，得到TaL/CK和/或TaM/CK的值的真实样本；改变X射线光谱仪的探针打入TaC化合物样品的位置，使TaC化合物样品的厚度在100nm～1000nm之间变化，重复步骤S02、S03，并制作TaL/CK与TaC化合物样品厚度，和/或TaM/CK与TaC化合物样品厚度的第一关系曲线图；根据第一关系曲线图，确定TaL/CK和/或TaM/CK的值趋向平稳时TaC化合物样品的临界厚度D1；建立模拟光谱库，选择不小于临界厚度D1的一个第一真实样本，将第一真实样本对应的第一实际测量光谱在模拟光谱库内对比，对应的Ta和C含量为TaC化合物样品中的真实Ta和C含量。 |
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