| 具有动态聚焦的能谱仪 |
| JP2022104276 2022-6-29 发明申请 |
| 2023-1-19 |
| 所要解决的问题是：提供一种用于透射电子显微镜(TEM)的动态聚焦能谱仪。 解决方案：能谱仪204和TEM 202至少包括带电粒子柱，带电粒子柱包括布置在样品平面之后的投影系统208，其中投影系统以第一配置操作。 能量分光计204包括色散元件212、偏置管214、用于放大能量损失谱和用于校正像差的光学器件、以及与能量分光计204的谱平面共轭地布置的检测器222。 该能谱仪还包括光学元件234，该光学元件被电偏置以将光谱的至少一部分重新聚焦在检测器222上。 电偏置的值至少部分地基于带电粒子柱的第一配置。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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