| 基于双层螺旋波导的片上傅里叶变换光谱仪 |
| CN202110801046.3 2021-7-15 发明申请 |
| 2021-11-12 |
| 一种基于双层螺旋波导的片上傅里叶变换光谱仪，依次包括波导输入耦合器、1×N光分束器、N个双层波导Y分叉结构、N个长度递增的双层螺旋波导、N个反向放置的双层波导Y分叉结构和N个锗硅探测器。本发明利用双层波导中奇模和偶模的群折射率差来构成非等臂马赫?增德尔干涉器结构，利用N个长度递增的双层螺旋波导实现基于空间外差相干的傅里叶变换光谱仪，测得的干涉条纹通过回归算法实现光谱重建。本发明能满足傅里叶变换光谱仪对于小型化、便携化的应用需求，并能够解决现有硅基片上光谱仪对温度敏感的问题。 |
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