| 使用光谱计量学的图案化膜叠层的带隙测量 |
| WOUS18045302 2018-8-6 发明申请 |
| 2019-2-14 |
| 一种光谱计量系统包括光谱计量工具和控制器。 控制器生成包括两层或更多层的多层光栅的模型，该模型包括指示多层光栅的测试层的几何形状的几何参数和指示测试层的色散的色散参数。 所述控制器还从所述光谱测量工具接收对应于所述建模的多层光栅的所制造的多层光栅的光谱信号。 所述控制器还确定所述建模的多层光栅的一个或多个参数的值，所述建模的多层光栅提供与所述测量的光谱信号相对应的模拟光谱信号，所述模拟光谱信号在所选择的容限内。 控制器还基于所确定的所制造的结构的测试层的一个或多个参数的值来预测所制造的多层光栅的测试层的带隙。 |
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