| 用于可见光至红外波长的纳米机电干涉仪 |
| WOEP20082554 2020-11-18 发明申请 |
| 2021-5-27 |
| 本公开涉及片上干涉仪和包括所述干涉仪的光谱仪。 本发明涉及一种片上干涉仪，包括：波导，用于传播包括输入波导的光信号； 包括一个或多个槽波导的至少两个干涉仪臂； 以及输出波导； 其中，所述输入波导被分成至少两个干涉仪臂，所述至少两个干涉仪臂被重新组合成所述输出波导； 以及控制机构，被配置为通过修改一个或多个槽波导的一个或多个槽宽度来控制在两个干涉仪臂中传播的光信号之间的相对时间延迟； 并且其中所述相对时间延迟是至少1，2，5或至少10fs或所述光信号的最长光波长的至少一个光学周期。 |
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