| 一种新型等离子共振调制的片上光谱仪结构 |
| CN202211329018.7 2022-10-27 发明申请 |
| 2023-1-6 |
| 本发明公开了一种新型等离子共振调制的片上光谱仪结构，包括功分器、多个相变单元、耦合器、探测器。利用功分器产生上下臂光路，其中上臂光路作为参考臂，下臂光路通过多个相变单元与参考臂产生相位差，再通过耦合器使得上下两臂光谱干涉输出，输出光谱通过探测器即可探测干涉图样，最后对干涉图样进行傅里叶变换和相关补偿算法即可恢复出输入光谱。其中，金属电极通电能够产生等离子体以激发相变材料从而使得下臂光路与参考臂产生相位差；通过多个相变单元的级联能够有效增加相位差；通过电信号控制等离子体的产生能够精确控制相位差，多个相位差产生的干涉光谱可通过同一个光电探测器探测，有效减少片上光谱仪的尺寸和复杂度。 |
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