产业专利数据
 
光谱仪、计量系统和半导体检验方法
 
KR1020220013618  2022-1-28  发明申请
2022-12-27
 
  提供一种能够提高光谱性能的光谱仪和测量系统。 关于实施例的分光计配备有准直透镜、聚焦透镜和SLM，其中由SLM反射的光通过聚焦透镜和色散光学元件从出射狭缝发射，并且入射狭缝、出射狭缝和反射表面与第二表面中的共轭相关，该第二表面与包括以不同角度色散的光的光路的第一表面正交。版权KIPO 2023
 
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