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使用使用光栅电子显微镜获得的图像对样品表面进行三维重建的方法

RU2016149374 2016-12-15 发明授权

2019-10-28

领域 : 图像处理装置。物质 : 发明涉及扫描电子显微镜。本发明利用摄影测量的原理，对扫描电镜中获得的试样在不同倾斜角度下的图像进行处理。发明概述 : 在测试样品的表面上形成岛膜，在图像中产生对比度，并且基于在平坦表面区域上确定的各个岛高度来调整摄影测量图像处理的结果。