| 片上集成啁啾光栅光谱仪 |
| US17777805 2020-11-19 发明申请 |
| 2022-12-29 |
| 公开了一种光谱传感器和用于形成光谱传感器的方法。 所述光谱传感器包括位于衬底上的平面波导； 限制机构，所述限制机构限制入射到所述啁啾输入耦合光栅上的光的入射角的范围； 所述啁啾输入光栅被形成为将入射光耦合到所述平面波导中，其中所述啁啾输入耦合光栅包括第一横向啁啾以提供入射光到所述平面波导中的光谱选择性耦合； 传播区域，用于滤除未耦合到所述平面波导中的光； 检测器阵列，所述检测器阵列布置在所述传播区域的与所述啁啾输入耦合S光栅相对的一侧，以接收耦合出所述平面波导的光并产生表示所述光的输出信号； 以及从检测器阵列读出输出信号的电路。 |
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