一种基于微球薄膜的超分辨显微镜系统
 
CN201910617252.1  2019-7-10  发明申请

2019-10-25
 
  本发明公开了一种基于微球薄膜的超分辨显微镜系统。在已有的普通光学显微镜的基础之上,通过成熟完备的薄膜制备工艺,提前制备含有微球的柔性薄膜,三维纳米控制台将制备好的微球薄膜高度集成到普通光学显微镜之上,精确控制微球薄膜与显微物镜以及样品的相对位置关系。样品表面亚衍射极限结构信息先经过薄膜中的微球,后进入显微物镜成像,薄膜中的微球能够显著增强普通显微镜的分辨能力,最终实现微纳结构的超分辨显微测量。本发明在实现微球操控的同时,还能实现远场大面积超分辨成像,实现特征尺寸50nm的微纳结构测量,有望替代传统显微镜应用于材料、生命科学等各种微纳检测领域。
 
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