| 波长色散X射线光谱仪 |
| WOUS19034740 2019-5-30 发明申请 |
| 2019-12-12 |
| 一种X射线光谱仪，包括 : 至少一个X射线光学器件，其被配置为接收具有作为X射线能量的函数的入射强度分布的X射线；以及至少一个X射线检测器，其被配置为接收来自所述至少一个X射线光学器件的X射线，并且被配置为接收来自所述至少一个X射线光学器件的X射线。 记录来自所述至少一个X射线光学器件的X射线的空间分布。 所述至少一个X射线光学器件包括至少一个衬底，所述衬底具有至少一个表面，所述至少一个表面至少部分地围绕纵轴并沿着纵轴延伸。 在平行于纵轴的至少一个横截面中，所述至少一个表面与纵轴之间的距离作为沿纵轴的位置的函数而变化。 所述至少一个X射线光学器件还包括在所述至少一个表面的至少一部分上或其上的至少一个镶嵌晶体结构和/或多个层。 所述多个层具有包括第一材料的第一多个第一层和包括第二材料的第二多个第二层。 所述第一层和所述第二层在垂直于所述至少一个表面的方向上彼此交替。 |
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