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光谱仪、计量系统和半导体检查方法

US17827051 2022-5-27 发明申请

2022-12-22

提供了一种能够提高光谱性能的光谱仪和计量系统。该光谱仪包括准直透镜、聚焦透镜和空间光调制器(SLM)，其中由SLM反射的光通过聚焦透镜和色散光学元件从输出狭缝输出，并且在与包括以不同角度色散的多个光的光路的第一平面垂直的第二平面上，入射狭缝、输出狭缝和反射平面具有共轭关系。