采用阻光构件的棱镜耦合系统和方法
 
WOUS22033910  2022-6-17  发明申请

2022-12-22
 
  一种棱镜耦合系统,所述棱镜耦合系统被配置为确定化学强化衬底中的至少一个应力特性,所述化学强化衬底具有表面和近表面波导,所述棱镜耦合系统具有用于生成测量光的光源系统。 耦合棱镜在包括低角度区域和高角度区域的光路上提供测量光进入和离开近表面波导的光耦合。 检测器系统,所述检测器系统被布置成接收来自所述耦合棱镜的所述测量光以检测模式光谱图像。 光阻挡构件可操作地设置成至少部分地延伸到所述低角度区域中而不延伸到所述高角度区域中,以增加或优化所述模式光谱图像的对比度。
 
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