| 具有集成准直结构的光子芯片 |
| FR17054361 2017-5-17 发明授权 |
| 2019-11-15 |
| 本发明涉及在光子芯片的输入/输出处形成的光束以及耦合到芯片的光的光谱展宽。 光子芯片(1)包括支撑在衬底(10)上的光波导层(12)。 该芯片包括由硅制成的光波导结构(121)和耦合表面光栅(122)。 光子芯片具有在面对耦合表面光栅(122)的一侧上的前表面(F1)和在面对衬底(10)的一侧上的后表面(F2)。 反射准直结构(16)集成在后表面(F2)中以改变入射光束的模式尺寸。 耦合表面光栅(122)被设计成接收来自光波导结构(121)的光并形成指向反射准直结构(15)的光束。 本发明还涉及制造这种芯片的方法。 |
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