| 扫描探针显微镜 |
| US16290334 2019-3-1 发明申请 |
| 2019-10-24 |
| 本发明提供一种能够缩短微小观察对象物的观察时间的扫描探针显微镜。 执行主测量以基于在多条线的测量范围内的检测信号通过重复获得样品的表面图像， 对于每条线，在以预定的第一间隔获取检测信号之后，在Y方向上以预定的第二间隔扫描悬臂，同时在沿X方向具有预定长度的线上扫描悬臂的处理。 在主测量之前，通过以比第一间隔宽的间隔获取检测信号或者以比第二间隔宽的间隔在Y方向上扫描悬臂来执行初步测量以获取样品的表面图像， 样品的表面图像比主测量中的表面图像粗糙。 |
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