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计量扫描探针显微镜

US16460470 2019-7-2 发明申请

2019-10-24

本发明涉及一种结合SPM和另一SPM的计量扫描探针显微镜系统，所述SPM采用光学杠杆装置间接地测量探针的位移，所述另一SPM通过使用干涉检测方案直接地测量探针的位移。