| 一种基于MEMS微镜的近红外光谱仪 |
| CN202211231576.X 2022-10-9 发明申请 |
| 2022-12-9 |
| 本发明提供一种基于MEMS微镜的近红外光谱仪，包括光源系统、光路模块和探测系统，光源系统产生的光线射入到光路模块，光路模块对光线进行处理后，反射和透射到探测系统，由探测系统对光谱信息进行提取和收集，并进行分析，本发明通过将闪耀光栅、MEMS微镜系统和近红外单点探测器相结合，并通过对光路进行优化，使其具备更好的光学性能，聚光能力强、杂散光小、信噪比高、能满足消彗差，并且摒弃了近红外阵列探测器，让整体的结构较为紧凑、空间利用率高，而且成本低。 |
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